鎢鈦合金靶材_供應鎢鈦合金靶材_鎢鈦合金靶材廠(chǎng)家

新型半導體芯片之所以要選用鎢鈦合金靶材來(lái)作為擴散阻擋層和粘結層的主要原因是，該合金具有較好的表面附著(zhù)能力以及優(yōu)異的散熱性能等特點(diǎn)。這樣一來(lái)，將能使所制備的產(chǎn)品擁有更高的綜合性能。

鎢鈦合金是一種兼有過(guò)渡金屬鎢和鈦的優(yōu)點(diǎn)的合金，其具有較高的密度和純度，較好的耐腐蝕性能以及較小的體積膨脹效應等特點(diǎn)，進(jìn)而能有效減少在制造過(guò)程中顆粒的形成，即可以成功制備出高質(zhì)量的薄膜。下面將為大家介紹的是一種鎢鈦合金的制備方法。

一種鎢鈦合金的生產(chǎn)方法的具體步驟如下：

（1）先稱(chēng)取一定量的鎢粉及鈦粉，并在惰性氣氛保護下混合均勻，其中鎢粉的質(zhì)量百分比為10～65%；

（2）采用機械壓機或冷等靜壓機將步驟（1）所制成的混合材料壓制成坯料；

（3）將步驟（2）所制成的坯料放入真空燒結爐中進(jìn)行致密化燒結；

（4）將步驟（3）所燒結的鎢鈦材料出爐冷卻后在非自耗真空電弧爐中進(jìn)行熔煉，即可得到產(chǎn)物。

與現有的生產(chǎn)方法相比，該鎢鈦合金的制造方法的優(yōu)勢有：（1）生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單，操作方便；（2）采用鎢，鈦粉末的混合原料，壓制，燒結及電弧熔煉的過(guò)程進(jìn)行制備，能有效解決傳統鎢鈦合金制備效率低，材料均勻性和雜質(zhì)含量不易控制的技術(shù)問(wèn)題；（3）制備出來(lái)的鎢鈦合金材料的鎢質(zhì)量百分數為10～60%，適合于批量制備。